מידול מיקרו מערכות אלקטרומכניות

היתרון של מיקרו מערכות אלה מתבטא בעיקר בשני רבידים, הראשון הוא הגודל שלהם אשר מאפשר להתקין אותם במקומות שלא ניתן לעשות זאת במערכות גדולות. לדוגמה חיישני לחץ מיקרונים ניתן היום להתקין אותם בצמיג של גלגל רכב ולמדוד לחץ בזמן אמת, או חיישני תאוצה אשר מותקנים בטלפון ניידים חכמים ומאפשרים שליטה על מה שמתרחש במסך. הרביד השני הוא היכולת לשלב הפיזיקה של חשמל אלקטרו-סטטי שלא ניתן לשלב במערכות גדולות.

המחקר שלי דן בתגובה המכנית של מיקרו מערכות מכניות אשר נמצאות תחת הפעלה של כוחות מכניים, תרמו-מכניים או כוחות אלקטרוסטטיים. חשוב לציין, וזה אחד היתרונות של מיקרו מערכות, שכוח אלקטרוסטטי נחשב אחד הכוחות (או הפיזיקות) החשובים ביותר שניתן לשלב בתוך שיפעול או חישה של מיקרו מערכת וזה בזכות הגודל המזערי של מערכות אלה. השילוב של כוחות מכנים וחשמליים יכול להוביל לשימושים טכנולוגים חדשניים כמו לדוגמה המיקרו מראה המתואר באיור ב' מטה. המטרה של המחקר היא לדעת מהו המתח הנדרש כדי לייצר גלים אלסטיים על המראה אם כוח הלחיצה השורר (במלים אחרות הטמפרטורה שגורמת לכוח לחיצה זה).

איור: מיקרו שמראה שנתן בעזרתה לרכז או לפזר אלומה של קרן אור על ידי הפעלה וכיבוי של מתח חשמלי. מיקרו מראה זאת יכולה להיות משומשת בטכנולוגיה של סיבים אופטיים

מבוא למיקרו מערכות אלקטרומכניות – סרטון